텅스텐 스퍼터링 타겟 팩트프라이
타겟 제조 방법
1. 주조방법
주조법은 일정한 조성비의 합금 원료를 제련한 다음, 제련된 합금 용액을 금형에 부어 잉곳을 형성한 다음, 이를 가공하여 타겟을 형성하는 방식이다. 주조법은 일반적으로 진공 상태에서 용융 및 주조가 필요하다. 일반적인 주조법에는 진공 유도 용융, 진공 아크 용융, 진공 전자 충격 용융이 있다. 장점은 생성된 타겟 재료가 불순물 함량이 낮고 밀도가 높으며 대규모 타겟에 사용할 수 있다는 것이다. 화학적 생산; 단점은 용융점과 밀도 차이가 큰 두 개 이상의 금속을 제련하면 기존의 제련 방법으로는 조성이 균일한 합금 타겟을 만드는 것이 어렵다는 것이다.
2. 분말야금법
분말 야금법은 일정 비율의 성분을 함유한 합금 원료를 제련한 다음, 제련 후 얻은 합금 용액을 주괴로 주조하고, 주조 주괴를 파쇄하고, 파쇄된 분말을 정압하여 형상을 만든 다음, 고온에서 소결하여 타겟 재료를 형성하는 방법입니다. 이러한 방식으로 제조된 타겟 재료의 장점은 조성이 균일하다는 것입니다. 단점은 밀도가 낮고 불순물 함량이 높다는 것입니다. 일반적으로 사용되는 분말 야금 산업에는 콜드 프레스, 진공 핫 프레스 및 핫 아이소스테틱 프레스가 있습니다.
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