80% WTi
1. 타겟 유지
스퍼터링 공정 중 불결한 캐비티로 인한 단락 및 아크를 피하기 위해 스퍼터링 트랙의 중간 및 양쪽에 축적된 스퍼터링 물질을 주기적으로 제거해야 합니다. 이는 또한 사용자가 높은 전력 밀도로 지속적으로 작동할 수 있도록 도와줍니다. 스퍼터링을 수행합니다.
2. 대상 저장소
사용자는 타겟(금속 또는 세라믹)을 진공 포장에 보관할 것을 권장합니다. 특히, 라미네이션 타겟은 라미네이션 층의 산화가 라미네이션 품질에 영향을 미치지 않도록 진공 조건에서 보관해야 합니다. 금속 타겟의 포장과 관련하여 최소한 깨끗한 비닐 봉지에 포장하는 것이 좋습니다.
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3. 타겟 청소
첫 번째 단계는 아세톤에 적신 부드럽고 보푸라기가 없는 천으로 청소하는 것입니다.
두 번째 단계는 첫 번째 단계와 비슷하며 알코올을 사용하여 청소합니다.
세 번째 단계는 탈이온수로 세척하는 것입니다. 탈이온수로 세척한 후, 타겟을 오븐에 넣어 100도 셀시우스에서 30분간 건조시켰습니다. 산화물 및 세라믹 타겟을 세척할 때는 "보푸라기 없는 천"을 사용하는 것이 좋습니다.
네 번째 단계는 스퍼터링 시스템에서 아크를 일으킬 수 있는 불순물이 있는 입자를 제거하기 위해 고압, 저습도의 아르곤 가스로 타겟을 플러싱하는 것입니다.
4. 단락 및 봉입 검사
타겟을 설치한 후에는 전체 캐소드를 검사하여 단락 및 밀봉을 확인해야 합니다. 저항계를 사용하여 캐소드에 단락이 있는지 확인하는 것이 좋습니다. 캐소드에 단락이 없는지 확인한 후 물 누출 검사를 수행하고 캐소드에 물을 통과시켜 물 누출이 있는지 확인할 수 있습니다.
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5. 포장 및 운송
모든 타겟은 습기 방지제가 들어 있는 진공 밀봉 플라스틱 백에 포장됩니다. 외부 포장은 일반적으로 운송 및 보관 중에 타겟과 백킹 플레이트를 손상으로부터 보호하기 위해 충돌 방지 층이 있는 나무 상자입니다.
